Наименование в соответствии с Регистрационным удостоверением:

Описание оборудования:

V400CE™ - высокопроизводительная, высокоскоростная, высокопрецизионная система для анализа, обработки и визуализации поверхности образцов с возможностью модификации и нанофабрикации микроэлектронных компонентов как на поверхности образца, так и с обратной стороны; возможность быстрого анализа дефектов и отказов:
    высокопроизводительный генератор образа для ионно- лучевой литографии;
    высокопрецизионный 5-ти осевой столик с пьезо- приводом;
    инновационная ионная колонна Tomohavk с разрешением - не менее 4,5 нм;
    ICE детектор вторичных ионов и электронов;
    система подачи процессных газов для системы газовой инжекции;
    быстрое, точное получение срезов позволяет обнаруживать дефекты и подповерхностную структуру;
    быстрая пробоподготовка и 3-D реконструкция.