Наименование в соответствии с Регистрационным удостоверением:

Регистрационное Удостоверение не оформлено

Описание оборудования:

Вакуумный эллипсометр с переменным углом наклона VUV-VASE является золотым стандартом для оптической измерений тонких пленок в литографии. Он измеряет длины волн от вакуумного ультрафиолета (VUV) до ближнего ИК (NIR). Это обеспечивает невероятную универсальность для измерений многих материалов: полупроводников, диэлектриков, полимеров, металлов, многослойных материалов и жидкостей, таких как иммерсионные жидкости.